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エッチングチャンバー (Draft chamber)
- 設備ID
- TU-001
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- アズワン (As one)
- 型番
- PSH1200
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
- 設備ID
- TU-002
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ()
- 型番
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
リン酸槽 (Draft chamber for SiN etching)
- 設備ID
- TU-003
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- - (-)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
- 設備状況
- 稼働中
スピン乾燥機 (Spin dryer)
- 設備ID
- TU-004
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東邦化成 (Toho Kasei)
- 型番
- ZAA-4
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：20mm角～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
4スピン乾燥機 (4 Spin dryer)
- 設備ID
- TU-005
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- SEMITOOL (SEMITOOL)
- 型番
- PSC101
- 仕様・特徴
- カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 設備状況
- 稼働中
6スピン乾燥機 (6 Spin dryer)
- 設備ID
- TU-006
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- SEMITOOL (SEMITOOL)
- 型番
- PSC101
- 仕様・特徴
- カセット式で1度に25枚まで処理可能
- 設備状況
- 稼働中
シンター用オーブン (Sintering oven)
- 設備ID
- TU-007
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DR22
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
温度：最高650℃
- 設備状況
- 稼働中
真空オーブン (Vacuum oven)
- 設備ID
- TU-008
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ヤマト科学 (Yamato)
- 型番
- DP-31
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
温度：最高200℃
- 設備状況
- 稼働中
ブラシスクラバ (Brush scrubber)
- 設備ID
- TU-009
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 全協化成 (Zenkyo)
- 型番
- 特注
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：20mm角～6インチ
- 設備状況
- 稼働中
ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)
- 設備ID
- TU-051
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- ミカサ (Mikasa)
- 型番
- 1H-DXII
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
- 設備状況
- 稼働中