FIB
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-322 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | FIB (FIB) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム |
| メーカー名 | SII (SII) |
| 型番 | SMI9200 |
| キーワード | 集束イオンビームによる微小部分のエッチング、SEM観察用断面作製 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-322 |
