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FIB

設備ID	TU-322
分類	微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB）
装置名称	FIB (FIB)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名	SII (SII)
型番	SMI9200
キーワード	集束イオンビームによる微小部分のエッチング、SEM観察用断面作製
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片