拡がり抵抗測定装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-321 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 拡がり抵抗測定装置 (Spreading resistance measurement) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | Solid State Measurement (Solid State Measurement) |
| 型番 | SSM150 |
| キーワード | 不純物濃度プロファイルの測定 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片 ウェハを小片にして端面を斜め研磨した後に測定 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-321 |
