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4探針測定装置

設備ID TU-320
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称 4探針測定装置 (4-terminal prober)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 - (-)
型番 -
キーワード ウェハ抵抗率などの測定
仕様・特徴 サンプルサイズ：小片～6インチ
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