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クイックコータ

設備ID TU-318
分類 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ）
走査型顕微鏡 > その他
装置名称 クイックコータ (Quick coater)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名 サンユー電子 (Sanyu)
型番 SC-701MkII
キーワード SEM観察試料のPtコーティング
仕様・特徴 サンプルサイズ：小片～2インチ
    クイックコータ
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