クイックコータ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-318 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） 走査型顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | クイックコータ (Quick coater) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム |
| メーカー名 | サンユー電子 (Sanyu) |
| 型番 | SC-701MkII |
| キーワード | SEM観察試料のPtコーティング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～2インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-318 |
