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JEOL FE-SEM

設備ID	TU-316
分類	走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	JEOL FE-SEM (JEOL FE-SEM)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名	日本電子 (JEOL)
型番	JSM-6335F
キーワード	電界放出型SEM
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～4インチ EDX付

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