JEOL FE-SEM
最終更新日:2022年4月9日
設備ID | TU-316 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
設備名称 | JEOL FE-SEM (JEOL FE-SEM) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-6335F |
キーワード | 電界放出型SEM |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:小片~4インチ EDX付 |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-316 |