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X線磁気円二色性分光 (X-ray magnetic circular dichroic spectroscopy)
- 設備ID
- MS-001
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- JANIS (JANIS)
- 型番
- 7THM-SOM-UHV
- 仕様・特徴
- UVSOR-III BL4B (100-1000eV円偏光)
超伝導磁石はJANIS社製7THM-SOM-UHV (±7T, 5K)、
試料作製槽 LEED/AES, 蒸着などを装備
- 設備状況
- 稼働中
マスクレス露光装置 (Maskless Lithography System)
- 設備ID
- MS-101
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
- 型番
- DL-1000
- 仕様・特徴
- 【付帯設備】
精密温度調整機能付クリーンブース
マスクアライナー（ミカサ社製MA-10）
スピンコーター（ミカサ社製MS-A100）
- 設備状況
- 稼働中
3次元光学プロファイラーシステム (3D Optical Profilers)
- 設備ID
- MS-102
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- Zygo (Zygo)
- 型番
- Nexview
- 仕様・特徴
- 3次元光学プロファイラーシステム
- 設備状況
- 稼働中
電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithgraphy System)
- 設備ID
- MS-103
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- エリオニクス (Elionix Inc.)
- 型番
- ELS-G100
- 仕様・特徴
- 最大加速電圧100kV, 最小ビーム径1.8nm, 最小描画線幅6nm
- 設備状況
- 稼働中
低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)
- 設備ID
- MS-202
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU6600
- 仕様・特徴
- ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能（10～300Pa）
EDS（EDX）（BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6）
- 設備状況
- 稼働中
電界放出形透過型電子顕微鏡 (Field emission transmission electron microscope)
- 設備ID
- MS-203
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JEM-2100F
- 仕様・特徴
- 電子銃 フィールドエミッション
加速電圧 200kV
分解能 0.23nm（粒子像）、0.1nm（格子像）
倍率 X2,000 ～ X1,500,000
試料 3mmφ以内
- 設備状況
- 稼働中
走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)
- 設備ID
- MS-204
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- Bruker (Bruker)
- 型番
- Dimension XR Icon NanoEDimension XR Icon NanoEC
- 仕様・特徴
- 形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃～250℃、湿度5%～50％）
- 設備状況
- 稼働中
単結晶X線回折（CCD-1） (Single crystal X-ray diffraction (CCD-1))
- 設備ID
- MS-205
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- リガク (Rigaku)
- 型番
- MERCURY CCD-1・R-AXIS IV
- 仕様・特徴
- X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100～400K
- 設備状況
- 稼働中
単結晶X線回折（CCD-2） (Single crystal X-ray diffraction (CCD-2))
- 設備ID
- MS-206
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- リガク (Rigaku)
- 型番
- MERCURY CCD-2
- 仕様・特徴
- X線源 Mo、50kV・100mA(5kW)
検出器 MERCURY CCD
温度可変 100～400K
- 設備状況
- 稼働中
単結晶X線回折（微小結晶用） (Single crystal X-ray diffraction (for small crystals))
- 設備ID
- MS-207
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- リガク (Rigaku)
- 型番
- HyPix-AFC
- 仕様・特徴
- X線源 Mo、50kV・16mA(0.8kW)
検出器 HyPix-6000HE
温度可変 100K～RT、24K～100K
微小結晶対応
- 設備状況
- 稼働中