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単結晶X線解析 (Single Crystal X-ray Diffractometer)

設備ID
MS-235
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
単結晶X線解析
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
XtaLAB Synergy-R/DW
仕様・特徴
極低温(100K~)からの測定が可能。高輝度X線源(PhotonJet-R/DW:出力1.2kW)と高速読み出しHPC検出器(HyPix-6000)の組み合わせで、超高速・超高精度測定が可能。

高磁場NMR(600MHz溶液) (High magnetic field NMR (600MHz liquid))

設備ID
MS-237
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
高磁場NMR(600MHz溶液)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JNM-ECZL600G
仕様・特徴
磁場:14.1T
感度(S/N):Liquid (Royal HFX) 1H≧1050、13C≧340
プローブ:Royal HFX(1H,19F,15N~31P)
     T10L(1H,103Rh~15N)
FG電源:30A(90G/cm)

電子プローブマイクロアナライザ(EPMA) (Electron Probe Micro Analyzer)

設備ID
MS-236
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-8230 SS-94000SXES 軟X線分光器搭載
仕様・特徴
50 eVまでの低エネルギーを測定できる軟X線分光器(SXES)を搭載。

X線磁気円二色性分光 (X-ray magnetic circular dichroic spectroscopy)

設備ID
MS-001
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
X線磁気円二色性分光
メーカー名
JANIS (JANIS)
型番
7THM-SOM-UHV
仕様・特徴
UVSOR-III BL4B (100-1000eV円偏光)
超伝導磁石はJANIS社製7THM-SOM-UHV (±7T, 5K)、
試料作製槽 LEED/AES, 蒸着などを装備

マスクレス露光装置 (Maskless Lithography System)

設備ID
MS-101
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
マスクレス露光装置
メーカー名
ナノシステムソリューションズ (NanoSystem Solutions)
型番
DL-1000
仕様・特徴
【付帯設備】
精密温度調整機能付クリーンブース
マスクアライナー(ミカサ社製MA-10)
スピンコーター(ミカサ社製MS-A100)

3次元光学プロファイラーシステム  (3D Optical Profilers)

設備ID
MS-102
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
3次元光学プロファイラーシステム
メーカー名
Zygo (Zygo)
型番
Nexview
仕様・特徴
3次元光学プロファイラーシステム
精密温度調整機能付クリーンブース

電子ビーム描画装置 (Electron Beam Lithgraphy System)

設備ID
MS-103
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
電子ビーム描画装置
メーカー名
エリオニクス (Elionix Inc.)
型番
ELS-G100
仕様・特徴
最大加速電圧100kV, 最小ビーム径1.8nm, 最小描画線幅6nm

低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)

設備ID
MS-202
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
低真空分析走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
SU6600
仕様・特徴
ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能(10~300Pa)
EDS(EDX)(BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6)

電界放出形透過型電子顕微鏡 (Field emission transmission electron microscope)

設備ID
MS-203
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
電界放出形透過型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
仕様・特徴
電子銃 フィールドエミッション
加速電圧 200kV
分解能 0.23nm(粒子像)、0.1nm(格子像)
倍率 X2,000 ~ X1,500,000
試料 3mmφ以内

走査プローブ顕微鏡 (Scanning probe microscope)

設備ID
MS-204
設置機関
自然科学研究機構  分子科学研究所
設備画像
走査プローブ顕微鏡
メーカー名
Bruker (Bruker)
型番
Dimension XR Icon NanoEDimension XR Icon NanoEC
仕様・特徴
形状測定、機械特性測定、電気特性測定、電気化学
大気非暴露ボックス、環境制御ユニット(-35℃~250℃、湿度5%~50%)
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