断面SEM
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-315 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 断面SEM (FE-SEM) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S5000 |
| キーワード | 主にチップ断面観察用の高分解能電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片専用 インレンズ式（磁性体導入不可） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-315 |
