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断面SEM

設備ID	TU-315
分類	走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	断面SEM (FE-SEM)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名	日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番	S5000
キーワード	主にチップ断面観察用の高分解能電子顕微鏡
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片専用インレンズ式（磁性体導入不可）

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