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熱電子SEM

設備ID	TU-314
分類	走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
装置名称	熱電子SEM (SEM)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 1Fクリーンルーム
メーカー名	日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番	S3700N
キーワード	汎用の電子顕微鏡
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチロードロックは4インチまで EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付