超音波顕微鏡
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-312 |
|---|---|
| 分類 |
デバイス特性 > その他 組立・パッケージング > 接合・接着 |
| 設備名称 | 超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室 |
| メーカー名 | インサイト (Insight) |
| 型番 | IS-350 |
| キーワード | デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～300mm角 反射測定、透過測定の両方可 超音波周波数：10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-312 |
