超音波顕微鏡
設備ID | TU-312 |
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分類 |
デバイス特性 > その他 組立・パッケージング > 接合・接着 |
装置名称 | 超音波顕微鏡 (Ultrasonic microscope) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室 |
メーカー名 | インサイト (Insight) |
型番 | IS-350 |
キーワード | デバイス内部の非破壊検査、ウェハ接合面の欠陥、ボイド評価等 |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:小片~300mm角 反射測定、透過測定の両方可 超音波周波数:10MHz、15MHz、25MHz、35MHz、50MHz、110MHz、200MHz |