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深さ測定装置

設備ID	TU-311
分類	光学顕微鏡 > その他
装置名称	深さ測定装置 (Depth measurement)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	ユニオン光学 (Union)
型番	Hisomet
キーワード	光学式の非接触深さ測定装置
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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