レーザ／白色共焦点顕微鏡
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-310 |
|---|---|
| 分類 |
光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 光学顕微鏡 > その他 |
| 設備名称 | レーザ／白色共焦点顕微鏡 (Laser/white light confocal microscope) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | レーザーテック (Lasertec) |
| 型番 | OPTELICS HYBRID LS-SD |
| キーワード | 3次元表面形状測定、Deep RIEのエッチ深さ測定 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ レーザ光／白色の切替可能 共焦点／非共焦点の切替可能 自動ステージ付 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-310 |
