赤外線顕微鏡
| 設備ID | TU-309 |
|---|---|
| 分類 |
光学顕微鏡 > その他 組立・パッケージング > 接合・接着 膜加工・エッチング > ウェットエッチング |
| 装置名称 | 赤外線顕微鏡 (Infrared microscope) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | オリンパス/浜松ホトニクス (Olympus/Hamamatsu) |
| 型番 | - |
| キーワード | 両面アライメントの確認、Vapor HFによる犠牲層エッチング時のモニタ等 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ |
