Tencor 段差計
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-306 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | Tencor 段差計 (Tencor profiler) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | Tencor (Tencor) |
| 型番 | AlphaStep |
| キーワード | 触針式の表面形状測定 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-306 |
