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Tencor 段差計

設備ID	TU-306
分類	膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称	Tencor 段差計 (Tencor profiler)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	Tencor (Tencor)
型番	AlphaStep
キーワード	触針式の表面形状測定
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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