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Dektak 段差計
設備ID
TU-305
分類
膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称
Dektak 段差計 (Dektak surface profiler)
設置機関
東北大学
設置場所
東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
Dektak (Dektak)
型番
8
キーワード
触針式の表面形状測定
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
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