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エリプソ

設備ID	TU-304
分類	膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称	エリプソ (Ellipsometer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	アルバック (Ulvac)
型番	-
キーワード	薄膜の厚さ、屈折率測定
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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