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卓上型エリプソ

設備ID	TU-303
分類	膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称	卓上型エリプソ (Desktop Ellipsometer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	フォトニックラティス (Photonic lattice)
型番	SE-101
キーワード	高速サンプリング可能なエリプソ
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ