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ウェハゴミ検査装置

設備ID	TU-301
分類	光学顕微鏡 > その他膜厚・粒度測定 > その他
装置名称	ウェハゴミ検査装置 (Wafer dust counter)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	トプコン (Topcon)
型番	WM-3
キーワード	ウェハ上のパーティクル測定（数、大きさ、分布）
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチカセットtoカセット