エキシマ洗浄装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-265 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 リソグラフィ > レジスト処理装置 リソグラフィ > ナノインプリント |
| 設備名称 | エキシマ洗浄装置 (Excimer lamp cleaner) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | デアネヒステ (Dernaechste) |
| 型番 | EXC-1201-DN |
| キーワード | ウェハやモールド上の有機物、残渣除去 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～4インチ ガス：O2 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-265 |
