熱インプリント装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-264 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > ナノインプリント |
| 設備名称 | 熱インプリント装置 (Thermal imprint) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | オリジン電気 (Origin) |
| 型番 | Reprina-T50A |
| キーワード | 熱可塑性材料に対するインプリント |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～2インチ角 温度：最大650℃ 荷重：最大30kN |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-264 |
