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熱インプリント装置

設備ID	TU-264
分類	リソグラフィ > ナノインプリント
装置名称	熱インプリント装置 (Thermal imprint)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	オリジン電気 (Origin)
型番	Reprina-T50A
キーワード	熱可塑性材料に対するインプリント
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～2インチ角温度：最大650℃ 荷重：最大30kN

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