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UVインプリント装置

設備ID	TU-263
分類	リソグラフィ > ナノインプリント
装置名称	UVインプリント装置 (UV imprint)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	東芝機械 (Toshiba Machine)
型番	ST-50
キーワード	UV硬化樹脂に対するナノインプリント
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ（ステージの可動範囲は4インチ角）モールドサイズ：小片～3インチ荷重：最大50kN