UVインプリント装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-263 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > ナノインプリント |
| 設備名称 | UVインプリント装置 (UV imprint) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 東芝機械 (Toshiba Machine) |
| 型番 | ST-50 |
| キーワード | UV硬化樹脂に対するナノインプリント |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ（ステージの可動範囲は4インチ角） モールドサイズ：小片～3インチ 荷重：最大50kN |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-263 |
