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サーフェイスプレナー

設備ID	TU-262
分類	組立・パッケージング > 研磨(化学、機械)
装置名称	サーフェイスプレナー (Surface planer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名	ディスコ (Disco)
型番	DAS8920
キーワード	Au、Cuバンプの平坦化
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ

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