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4インチウェハ研磨装置

設備ID	TU-260
分類	組立・パッケージング > 研磨(化学、機械)
装置名称	4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名	BNテクノロジー (BN technology)
型番	Bni52
キーワード	Si、SiO₂、金属などの研磨、CMP
仕様・特徴	サンプルサイズ：4インチ

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