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レーザマーカ

設備ID	TU-258
分類	膜加工・エッチング > レーザー加工
装置名称	レーザマーカ (Laser marker)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	GSIルモニクス (GSI)
型番	WM-II
キーワード	ウェハ上へ番号や記号のマーキング
仕様・特徴	サンプルサイズ：4インチ

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