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東京精密ダイサ

設備ID	TU-256
分類	組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称	東京精密ダイサ (Accretech dicer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	東京精密 (Accretech)
型番
キーワード	ウェハのダイシング
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ切削水：純水

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