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ディスコダイサ

設備ID	TU-255
分類	組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称	ディスコダイサ (Disco dicer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室
メーカー名	ディスコ (Disco)
型番	DAD-522
キーワード	ウェハのダイシング
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～6インチ切削水：水道水

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