ディスコ ダイサ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-255 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ディスコ ダイサ (Disco dicer) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3F実験室 |
| メーカー名 | ディスコ (Disco) |
| 型番 | DAD-522 |
| キーワード | ウェハのダイシング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ 切削水：水道水 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-255 |
