EVG プラズマ活性化装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-254 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 組立・パッケージング > 接合・接着 |
| 設備名称 | EVG プラズマ活性化装置 (EVG plasma activation) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | EVG (EVG) |
| 型番 | 810 |
| キーワード | 直接接合前のプラズマ活性化処理 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ ガス：N2、O2、Ar |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-254 |
