TMAHエッチング槽
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-218 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > ウェットエッチング |
| 設備名称 | TMAHエッチング槽 (TMAH etching) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | - (-) |
| 型番 | - |
| キーワード | Si結晶異方性アルカリウェットエッチング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ・同時処理枚数：4インチ×10枚、6インチ×10枚 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-218 |
