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TMAHエッチング槽

設備ID	TU-218
分類	膜加工・エッチング > ウェットエッチング
装置名称	TMAHエッチング槽 (TMAH etching)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	- (-)
型番	-
キーワード	Si結晶異方性アルカリウェットエッチング
仕様・特徴	サンプルサイズ・同時処理枚数：4インチ×10枚、6インチ×10枚

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