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Vapor HFエッチング装置

設備ID	TU-216
分類	膜加工・エッチング > ガスエッチング
装置名称	Vapor HFエッチング装置 (Vapor HF etching)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
型番	Primaxx uEtch
キーワード	気相フッ酸による主にSiO₂犠牲層エッチング
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチ