Vapor HFエッチング装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-216 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > ガスエッチング |
| 設備名称 | Vapor HFエッチング装置 (Vapor HF etching) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | Primaxx uEtch |
| キーワード | 気相フッ酸による主にSiO2犠牲層エッチング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-216 |
