共用設備検索

イオンミリング装置

設備ID	TU-215
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	イオンミリング装置 (Ion milling)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	エヌ・エス／伯東 (NS/Hakuto)
型番	20IBE-C
キーワード	Arイオンによるミリング
仕様・特徴	サンプルサイズ・同時処理枚数：4インチ×6枚、6インチ×3枚、8インチ×1枚