アルバック アッシング装置
| 設備ID | TU-212 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 リソグラフィ > レジスト処理装置 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 装置名称 | アルバック アッシング装置 (Ulvac asher) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | UNA-2000 |
| キーワード | レジスト除去 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：4、6インチ カセットtoカセット プラズマ方式：CCP（2.45GHz） ガス：O2、H2フォーミングガス |
