プラズマクリーナー
| 設備ID | TU-211 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 リソグラフィ > レジスト処理装置 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 装置名称 | プラズマクリーナー (Plasma cleaner) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | ヤマト科学 (Yamato) |
| 型番 | PDC210 |
| キーワード | レジスト除去、表面改質 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ 基板固定方式：静置（温度制御不可） プラズマ方式：CCP、バレル式 ガス：O2、Ar |
