Al-RIE装置
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-210 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | Al-RIE装置 (Al-RIE) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 芝浦メカトロニクス (Shibaura Mechatronics) |
| 型番 | HIRRIE-100 |
| キーワード | Al、AlGaN、Siなどエッチング用のRIE |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：4、6インチ プラズマ方式：CCP ガス：Cl2、BCl3、N2、O2、Ar 塩素除去用の水洗、ベーク機構付 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-210 |
