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アネルバSi RIE装置

設備ID	TU-209
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	アネルバSi RIE装置 (Anelva Si RIE)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	アネルバ (Anelva)
型番	L-507DL
キーワード	Siエッチング用のバッチ式のRIE
仕様・特徴	サンプルサイズ：4、6インチプラズマ方式：CCP ガス：SF₆、Ar、O₂