アルバック多用途RIE装置
| 設備ID | TU-207 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 装置名称 | アルバック多用途RIE装置 (Ulvac RIE) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | アルバック (Ulvac) |
| 型番 | RIH-1515Z |
| キーワード | 金属膜や圧電膜も対象とした多目的のドライエッチング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～300mm角 ロードロックは6インチまで 基板固定方式：静置（温度制御不可） プラズマ方式：CCP ガス：Cl2、BCl3、SF6、CF4、CHF3、Ar、N2、O2 |
