DeepRIE装置#4
| 設備ID | TU-204 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 装置名称 | DeepRIE装置#4 (DeepRIE #4) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | MUC-21 ASE-HR |
| キーワード | ボッシュプロセスによるSiの高速深堀エッチング |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：8インチ、または、4インチ 基板固定方式：静電チャック(8)、メカニカルチャック(4) プラズマ方式：ICP ガス：SF6、C4F8、Ar、O2 メタルマスク（Al、Crなど）不可 |
