DeepRIE装置#1
設備ID | TU-201 |
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分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
装置名称 | DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
型番 | MUC-21 ASE-SRE |
キーワード | ボッシュプロセスによるSiの深堀エッチング、通常4インチ用 |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:4インチ(小片~4インチ) 基板固定方式:メカニカルチャック プラズマ方式:ICP ガス:SF6、C4F8、Ar、O2 メタルマスク(Al、Crなど)不可 |