DeepRIE装置#1
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-201 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | DeepRIE装置#1 (DeepRIE #1) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | MUC-21 ASE-SRE |
| キーワード | ボッシュプロセスによるSiの深堀エッチング、通常4インチ用 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：4インチ(小片～4インチ) 基板固定方式：メカニカルチャック プラズマ方式：ICP ガス：SF6、C4F8、Ar、O2 メタルマスク（Al、Crなど）不可 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-201 |
