ゾルゲル自動成膜装置
設備ID | TU-170 |
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分類 |
成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど) 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
装置名称 | ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition) |
設置機関 | 東北大学 |
設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
メーカー名 | テクノファイン (Technofine) |
型番 | PZ-604 |
キーワード | PZTの成膜に利用 |
仕様・特徴 | サンプルサイズ:4インチ スピンコート、ベーク、ランプアニールの繰り返しを自動処理可能 |