ゾルゲル自動成膜装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-170 |
|---|---|
| 分類 |
成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど） 熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール |
| 設備名称 | ゾルゲル自動成膜装置 (Automatic sol-gel deposition) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | テクノファイン (Technofine) |
| 型番 | PZ-604 |
| キーワード | PZTの成膜に利用 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：4インチ スピンコート、ベーク、ランプアニールの繰り返しを自動処理可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-170 |
