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多元材料原子層堆積(ALD)装置

設備ID TU-169
分類 成膜装置 > 原子層堆積(ALD)装置
装置名称 多元材料原子層堆積(ALD)装置 (ALD)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム
メーカー名 テクノファイン (Technofine)
型番 ALK-600
キーワード 東北大学が設計した特注の装置
Al2O3、Pt、Ru
仕様・特徴 サンプルサイズ：小片～6インチ
    多元材料原子層堆積(ALD)装置
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