めっき装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-168 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > めっき |
| 設備名称 | めっき装置 (Electroplating) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 3Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 山本鍍金試験器 (Yamamoto) |
| 型番 | 特注 |
| キーワード | Cu、Ni、Sn、Au |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：3、4、6インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-168 |
