電子ビーム蒸着装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-167 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子ビーム蒸着装置 (EB evaporation) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | アネルバ (Anelva) |
| 型番 | EVC-1501 |
| キーワード | Ag, Al, Au, Cr, Cu, In, Ni, Pt, Sn, Ti, V, W, InSb, GaSb, AlCu, AlSi |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ 同時処理枚数：4インチ×18枚、6インチ×4枚 同時に装着できる蒸着源：3個 基板温度：常温～350℃（ランプ加熱方式） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-167 |
