アネルバスパッタ装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-165 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | アネルバスパッタ装置 (Anelva sputtering ) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | アネルバ (Anelva) |
| 型番 | SPF-730 |
| キーワード | 大型のバッチ式のRFスパッタ 主にAl、AlSiなど |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ、同時処理枚数：4インチ×9枚、または6インチ×4枚 電源：RF×1 ターゲット：8インチ×1 方式：スパッタUP |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-165 |
