FE-SEM+EDX [JSM-IT800]
最終更新日:2025年1月7日
設備ID | NM-667 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
設備名称 | FE-SEM+EDX [JSM-IT800] (FE-SEM+EDX [JSM-IT800]) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS千現地区材料信頼性実験棟116室 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-IT800is |
キーワード | SEM、観察、計測、元素分析、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscope |
仕様・特徴 | ・加速電圧: 0.01~30kV , ・最大倍率:2,000k ・検出器:SED/UID ・分解能:0.6 nm (15 kV) , 1.5 nm (1 kV) ・最大試料サイズ:6インチ ・付加機能:EDX |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-667 |