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FE-SEM+EDX [JSM-IT800]

最終更新日:2025年1月7日
設備ID NM-667
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
設備名称 FE-SEM+EDX [JSM-IT800] (FE-SEM+EDX [JSM-IT800])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区材料信頼性実験棟116室
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JSM-IT800is
キーワード SEM、観察、計測、元素分析、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscope
仕様・特徴 ・加速電圧: 0.01~30kV ,
・最大倍率:2,000k
・検出器:SED/UID
・分解能:0.6 nm (15 kV) , 1.5 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-667
    FE-SEM+EDX [JSM-IT800]
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