触針式プロファイラー（段差計）
最終更新日：2024年10月1日
| 設備ID | HK-708 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 触針式プロファイラー（段差計） (Alpha-Step D-500) |
| 設置機関 | 北海道大学 |
| 設置場所 | 工学部L棟 |
| メーカー名 | KLA-Tencor (KLA-Tencor) |
| 型番 | D-500 |
| キーワード | 段差測定 段差計 |
| 仕様・特徴 | サンプルステージ直径 140mm 段差測定再現性1σ 0.5nm以内 測定範囲Z：1200µm X：30mm 分解能Z：0.038nm 針圧範囲 0.03 ～15mg |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=HK-708 |
