超微細インクジェット描画装置
最終更新日：2024年8月1日
| 設備ID | KT-157 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > その他 |
| 設備名称 | 超微細インクジェット描画装置 (Super Fine Inkjet Printer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | (株)ＳＩＪテクノロジ (SIJTechnology, Inc.) |
| 型番 | ST050 |
| キーワード | インクジェット描画 |
| 仕様・特徴 | 超微量・高粘度吐出のスーパーインクジェットヘッドにより、大気圧・常温下で微細パターンの直接描画が可能。 ・最小吐出量：0.1fL ・最小ライン幅：0.6µm ・対応粘度：0.5～10,000cps ・付属ソフトウェア（複雑パターンが可能） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-157 |
