二光子重合式３Dプリンター
最終更新日：2024年7月12日
| 設備ID | KT-122 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 設備名称 | 二光子重合式３Dプリンター (3D Lithography and 3D Microprinting System ) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | ハイデルベルグ・インストルメンツ(株) (Heidelberg Instruments) |
| 型番 | MPO 100 |
| キーワード | ３Dプリンター 二光子重合 |
| 仕様・特徴 | 感光性材料内のレーザー集束スポット、2つの光子の同時吸収によって局所的に感光性材料の重合反応を引き起こす技術。レーザーの焦点は感光性材料の体積内全てに移動制御できるため、複雑な三次元（3D）構造を作製することが可能。 光源： フェムト秒レーザー 波長522 nm 最小描画ライン幅： 100 nm （UV硬化樹脂依存） 最小表面粗さRa： <10 nm 最大描画高さ： 380 µm アライメント精度： <1.5 µm 最大描画領域： 100 mm x 100 mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-122 |
