高分解能走査型分析電子顕微鏡
最終更新日：2024年8月1日
| 設備ID | UT-105 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 高分解能走査型分析電子顕微鏡 (High-resolution scanning analytical electron microscope) |
| 設置機関 | 東京大学 |
| 設置場所 | 東京大学浅野キャンパス工学部9号館 |
| メーカー名 | 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.) |
| 型番 | JSM-IT800SHL |
| キーワード | SEM、反射電子検出器、二次電子検出器、特性Ｘ線、半導体、セラミックス、高分子、非暴露対応 |
| 仕様・特徴 | □ 主な仕様 （1）本体 加速電圧：0.01～30 kV 0.5～2.9 kVは10 Vステップ 二次電子分解能：1.0 nm（加速電圧15kV, 通常時） 0.5 nm（加速電圧15kV） 0.7 nm（加速電圧1kV） 0.9 nm（加速電圧500V） 写真倍率：×10 ～ 2,000,000 プローブ電流：数 pA～500 nA（30kV） ：数 pA～100 nA（5kV） （2）エネルギー分散形X線分析装置 検出器：シリコンドリフト検出器 100mm2 エネルギー分解能：129 eV 検出可能元素：Be ～ U （3）シンチレータ反射電子検出器（SBED） （4）上方電子検出器（UED） （5）透過電子検出器（TED） （6）低真空対応 （7）非暴露対応 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UT-105 |
