走査電子顕微鏡(JSM-6510)
設備ID | NM-232 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 走査電子顕微鏡(JSM-6510) (Scanning Electron Mocroscope(JSM-6510)) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 112号室 |
メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
型番 | JSM-6510 |
キーワード | 表面の形状観察 |
仕様・特徴 | ・Wフィラメント電子銃 ・加速電圧:0.5~30 kV ・二次電子分解能:3.0 nm(加速電圧30 kV)、 8.0 nm (加速電圧3 kV)、 15.0 nm(加速電圧1 kV) ・倍率:5~30万倍 ・最大試料サイズ:φ150 mm ・操作ナビ画面にナビゲーション表示 ・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能 |