走査電子顕微鏡（JSM-6510）
最終更新日：2024年8月1日
| 設備ID | NM-232 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査電子顕微鏡（JSM-6510） (Scanning Electron Microscope（JSM-6510）) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 112号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-6510 |
| キーワード | 表面の形状観察 |
| 仕様・特徴 | ・Wフィラメント電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子分解能：3.0 nm（加速電圧30 kV）、 8.0 nm (加速電圧3 kV）、 15.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：5～30万倍 ・最大試料サイズ：φ150 mm ・操作ナビ画面にナビゲーション表示 ・試料交換手順はフロー式で初心者でも簡単に試料交換可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-232 |
