電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F）
| 設備ID | NM-231 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡（JSM-6500F） (Field Emission Scanning Electron Microscope (JSM-6500F)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | 千現地区 精密計測実験棟 113号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-6500F |
| キーワード | 表面の形状観察及び元素分析 |
| 仕様・特徴 | ・電界放出形電子銃 ・加速電圧：0.5～30 kV ・二次電子像分解能：1.5 nm（加速電圧15 kV）、 5.0 nm（加速電圧1 kV） ・倍率：10～50万倍 ・最大試料サイズ：φ100 mm ・反射電子検出器搭載 ・EDS付属（JED-2300） エネルギー分解能：133 eV以下 検出可能元素：B～U |
