マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000）
| 設備ID | NM-230 |
|---|---|
| 分類 |
質量分析 > 二重収束質量分析 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > その他 |
| 装置名称 | マルチガス導入グロー放電質量分析システム（VG9000） (Glow Discharge Mass Spectrometer (GD-MS)) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | 千現地区 ファインプロセス実験棟 311号室 |
| メーカー名 | サーモフィッシャーサイエンティフィック(株) (Thermo Fisher Scientific) |
| 型番 | VG9000 |
| キーワード | 1.金属・セラミックス試料の高感度分析 2.薄膜試料の分析が可能 3.相対感度係数による高い精確さを有する分析が可能 |
| 仕様・特徴 | 1.質量分析器：Nier-Johnson配置二重収束型 2.イオン検出器：ファラデー検出器、イオン計数デイリー検出器 3.質量分析範囲：7～240 amu 4.プラズマ・イオン種：Ar、He 5.液体窒素冷却型試料冷却システム |
